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LAB Motion Systems
精密运动与定位专家
LAB的销售和专家团队来自于机械、材料、光学、电子、控制和软件等不同领域，可以快速高效地为您提供各种咨询和支持。
LAB 拥有先进完善的测量实验室，可以满足各种精度的测量和验收需求，确保我们交付的系统全面满足甚至超出您的实际需求。超过80平米的ISO 5超净间可用于半导体检测等相关产品的组装和调试测量.
如需更多信息请联系亚洲区销售总监杨先生
微信: LAB_Motion_Systems
电话: + 32 493 123366
气浮转台
- 端跳 < 20纳米
- 径跳 < 20纳米
- 直径75mm到500mm (更大直径可定制)
- 负载13公斤到830公斤
- 转速高达1200RPM
- 机械转台端跳和径跳 < 1微米
气浮直线台
- 行程100mm – 1500mm(更长可定制)
- 负载50kg – 200kg(更高可定制)
- 定位精度 < ±0.3微米
- 重复定位精度 < ±0.05微米
- 直线度/平面度 < ±0.25微米
- Pitch/Roll/Yaw < ± 4µrad
精密龙门系统
- 气浮轴承或气浮+机械轴承混合
- XY行程300mm – 1000mm
- 负载50kg – 150kg
- 可集成旋转A轴和B轴实现5轴联动
- 定位精度 < ± 0.5微米
- 重复定位精度 < ± 0.05微米
- 平面度全行程内 < 1微米
- 直线度全行程内 < 1微米
Planar气浮XY
- XY行程300mm – 1000mm
- 负载30kg
- 可集成旋转A轴和B轴
- 定位精度 < ± 0.3微米
- 重复定位精度 < ± 0.1微米
- 平面度全行程内 < ± 0.3微米
- 直线度全行程内 < ± 0.3微米
半导体检测
Wafer inspection is split into two categories: unpatterned and patterned wafers. LAB Motion Systems provides a variety of high-performance air bearing stages suitable for both unpatterned wafer inspection and patterned wafer inspection. For patterned wafers we’ve combined our low-profile designed XYTZ stage with an active vibration isolation system and advanced control system that guarantees < 100ms settling time.
Specifications
* For unpatterned wafer inspection our low-profile XZTheta stage guarantees a 2000 RPM wafer rotation speed during the inspection.
XY
Velocity up to 850 mm/s
Acceleration 1.5 G
Position accuracy < ±0.5 µm
Settling time < 100 ms
Jitter < ± 20 nm
Tip-Tilt-Theta
Travel range > ±2°
Position accuracy < ±2 µrad
Settling time < 100 ms
Direct drive, air bearing
Integrated locking
Fine-Z & Coarse-Z
Stroke 1.5 mm
Position accuracy < ± 50 nm
Jitter < ± 20 nm
Control bandwidth 100 hz
* For unpatterned wafer inspection our low-profile XZTheta stage guarantees a 2000 RPM wafer rotation speed during the inspection.
Theta
Speed 2000 RPM *
(with wafer and chuck)
Radial error < 100 nm
Axial error < 50 nm
X
Stroke 700 mm
Velocity up to 850 mm/s
Acceleration 1.5 G
Position accuracy < ±0.5 µm
Z
Stroke 5 mm
Velocity 10 mm/s
Position accuracy < ± 50 nm
Theta
Speed 2000 RPM *
(with wafer and chuck)
Radial error < 100 nm
Axial error < 50 nm
激光微加工
LAB提供面向激光微加工的整体解决方案
- 5轴联动
- 2D、2.5D和3D精密激光加工
- 图形化操作界面，支持多种格式CAD文件直接上传和再设计
- 可集成主流品牌激光器
- 多种模式激光脉冲同步控制
- 支持无限视场技术Infinite Field of View
- 支持XY21-100和SL2-100等协议振镜
- 支持对振镜的Calibration和Field Flattening
- 支持对Camera的Autofocus和Alignment
OEM解决方案
LAB Motion Systems是一家拥有超过15年经验的精密运动与定位系统提供商。我们有一支来自机械、材料、光学、电子、控制和软件等不同领域的专业人员组成的经验丰富团队来专门负责OEM客户的不同需求。我们的OEM客户来自不同的行业和应用，包括三坐标测量、半导体检测、X-Ray CT检测、消费电子惯量测量、等等。
从设计和制造，到测试和认证，LAB的丰富项目经验确保系统完全按照客户要求的规格参数来设计、制造、测试和交付。
LAB致力于降低客户的研发成本和上市周期，通过产品的稳定性和可靠性成为客户的端到端长期合作伙伴。
定制产品
LAB理解科研的本质就是在无人区不断试错和证伪，大部分科研用户的需求是市场上普遍存在的标准产品无法满足的。
LAB的研发团队普遍具有博士和不同领域科研的背景，对科研用户和部分OEM客户的实验室经常会遇到一些市场上的标准产品无法满足的特殊需求非常清楚，LAB在为用户提供定制化解决方案方面有着丰富的项目经验。
我们的用户包括全球一些典型的科研单位例如各大同步辐射光源，以及几十所世界排名前100的理工类大学。实际项目中，我们的研发团队会根据您的实际情况来分析并定义需求，进而提供定制化方案建议。 在您与我们的团队联系并讨论您的项目需求后，我们将开始设计开发您的自定义系统。 在开发过程中，我们将分节点定期邀请您一起沟通确认，相互激发并共同创造出同时满足当前和将来需求的解决方案。
左图为LAB为德国弗劳恩霍夫协会(Fraunhofer-Gesellschaft)提供的用于X-Ray Computed Tomography纳米成像检测的多轴运动控制系统
应用
我们的设备与系统广泛应用于：
- 半导体检测
- 同步辐射
- 5轴联动激光微加工
- 工业CT检测
- 工业三坐标测量
- 航空航天
- 汽车制造
- MEMS惯量测量与校准
- 光学检测
- 大学与科研机构
