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    - Integriertes System

    Integrated System

    Ein multifunktionaler Integriertes System 7 Achse Probentisch wurde für die genaue Positionierung und Scannen von kleinen Proben entwickelt. Chipintegration der Achsen aktiviert eine sehr kompakte Bauweise mit minimalem Bewegungsfehler.

    Das Herzstück der Maschine zwei Drehtische, montiert senkrecht mit einer Kugel der Verwirrung unter 1 um und Radialfehler von 25 nm, so dass scharfe hochauflösende Messungen. Die Kombination von Luftlagern Führungen mit Direktantriebstechnik und hochauflösende Encoder konnte eine extreme 3D Wiederholbarkeit von 100 nm bei Probenposition.